半導體產業是未來我省經濟社會發展的戰略性、基礎性和先導性產業，我省合肥、蕪湖、滁州、池州、馬鞍山等市的半導體產業呈現快速發展勢頭。與此同時，半導體行業集成電路制造與封裝測試工藝中均有大量廢水產生，尤其是封裝過程中電鍍工序，涉及重金屬等有毒有害物質排放，環境危害較大，需要強化環境監管。
為對標長三角生態環境標準一體化，加大我省半導體行業水污染物排放監管力度，省生態環境廳編制省級地方標準《半導體行業水污染物排放標準》。前不久，省生態環境廳、省市場監管局聯合發布該標準。新建半導體企業自2023年1月1日起執行，現有企業自2025年1月1日起執行。
《標準》適用于半導體行業企業的水污染物排放管理，以及半導體企業排污許可管理、建設項目環境影響評價、建設項目環境保護設施設計、竣工驗收及其投產后的污染控制與管理。
以水污染物排放控制要求為核心內容，《標準》按照一般區域、特別排放區域兩種情形，規定了總鎘、總砷等7種一類水污染物，氟化物、化學需氧量等14種二類水污染物的直接和間接排放標準。同時，規定了半導體行業企業不同產品規格的單位產品排水量和半導體企業污水集中處理設施廢水綜合毒性控制項目及標準。
較此前執行的標準《電子工業水污染物排放標準》(GB 39731-2020)，我省地方標準在指標限值方面有13項指標不同程度收嚴。其中，總氰化物直接排放限值收嚴60%、間接排放限值收嚴80%，總鉻、六價鉻直接排放限值和間接排放限值均收嚴50%，總砷直接排放限值和間接排放限值均收嚴60%，總銅直接排放限值收嚴20%、間接排放限值收嚴50%，化學需氧量直接排放限值收嚴40%，總有機碳直接排放限值收嚴33%、間接排放限值收嚴50%等，并增加了特別排放限值指標。
“《標準》實施將進一步推進行業高質量發展，發揮環境標準的倒逼和引領作用，促進產業升級與綠色發展。”省生態環境廳有關人士表示，《標準》實施后，我省半導體行業總鉻、六價鉻削減率為50%左右，化學需氧量削減率為40%左右，氨氮削減率為60%左右，對地表水環境質量改善有較好效果。
責任編輯：陸迪
